2003年02月04日

トクヤマ、世界初「超大口径フッ化バリウム単結晶の育成」に成功

【カテゴリー】：新製品/新技術 【関連企業・団体】：トクヤマ

経産省の14年度研究開発事業の一つである「次世代短波長光リソグラフィーを実現する新真空紫外域光学材料開発」プロジェクトに、研究担当企業として参画していたトクヤマは4日、チョクラルスキー法（CZ法）により、超大口径（8インチ超）フッ化バリウム単結晶の育成に世界で初めて成功したと発表した。 　 　同プロジェクトは、東北大学多元物質科学研究所の福田承生教授をリーダーとし、最新の解析技術を使って研究を行ってきたもので、トクヤマは自社開発したCZ法により「単結晶の超大口径化」を担当。その結果、世界最大級のフッ化物専用大型単結晶育成装置を用い、「高純度溶融原料の開発」を担当したステラ　ケミファ社と協力、8インチ超というフッ化バリウム単結晶の育成に成功した。 　 ニュースリリース参照 http://www.chem-t.com/cgi-bin/fax/search.cgi?CODE=629