2005年02月15日
トクヤマ、太陽電池用多結晶シリコンの新技術実証プラント着工
【カテゴリー】:経営(新製品/新技術)
【関連企業・団体】:トクヤマ

 トクヤマは15日、徳山製造所(山口県周南市)に太陽電池用の多結晶シリコン新製造技術「VLD法(溶融析出法)」の実証プラントを建設すると発表した。9日起工式を行った。年産能力200トンで投資額は約30億円。05年末完成、06年春にもサンプル出荷を開始する。

 溶融析出法(VLD法:Vapor to Liquid Deposition)とは、原料としてトリクロロシラン(SiHCl3)を使用し、特殊な反応器でガスから直接シリコン粒の析出を行うもので、現在の製法に比べて格段に速い析出速度で多結晶シリコンを製造することができる特徴がある。
 
 トクヤマは現在、年産能力5,200トン設備をもつ世界第2位の多結晶シリコンメーカー。新プラントは太陽電池向け専用の多結晶シリコンとなり、一層の安定供給を目指す。

 なお同プラントの建設には、新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO 技術開発機構)からの補助金が決定している。

ニュースリリース参照
http://www.chem-t.com/fax/images/tmp_file1_1108445308.pdf