2005年02月23日

トクヤマ、フッ化カルシウム単結晶の開発体制を強化

【カテゴリー】：経営（新製品/新技術） 【関連企業・団体】：トクヤマ

トクヤマは23日、半導体製造用「露光装置(ステッパー)」のレンズ材料として注目されている、フッ化カルシウム単結晶の開発体制を強化するため、単結晶育成設備など一連の製造設備を徳山製造所(山口県周南市)に移設するとともに、新たに設備増強すると発表した。関係省庁の認可を待って着工し、本年9月完成の予定、投資額は約10億円の見込み。 　 　同社は2002年11月にチョクラルスキー法(CZ法)によるCaF2単結晶引き上げ成功を発表して以来、サンプルワークなどを通じて、ステッパー用レンズ硝材に要求される高精度の品質、安定生産技術の開発・向上に努めてきた。 　 　このほど、実用レベルの品質、安定生産にめどがついたため、新たな取り組みとして試験的コマーシャルステージへ移行する。今回の開発体制強化、生産体制の整備により、レンズブランク(レンズになる前のディスク)で年産約300枚の供給が可能になる。 　今後は品質、生産技術のさらなる向上を図り、ステッパーメーカーからの出荷要請に応える。また光の透過率が高く、赤外光から深紫外光まで透過領域が広いという特性を活かして、ステッパー以外の新規需要開拓も進めていく方針。 ニュースリリース参照 http://www.chem-t.com/fax/images/tmp_file1_1109143507.pdf