2006年01月19日

JSR、四日市に新クリーンルーム棟 20日竣工

【カテゴリー】：経営（ファインケミカル） 【関連企業・団体】：JSR

JSRは19日、四日市の研究所内に建設中だった最先端材料研究用の新クリーンルーム棟が完成し他と発表した。20日竣工式を行なう。 　 　半導体デバイスの微細化、ディスプレイ基板サイズの大型化などといった新しい時代の研究に対応するには、研究機器の高性能化とともに、これらの研究機器を設置するクリーンルームも、さらにクリーン度の高い、大型の施設が必要とされている。 　 　完成した新クリーンルーム棟は鉄筋コンクリート5階建て、床面積5200平方メート。将来の技術開発に備えて、現行の最先端デバイスの製造ラインに匹敵する「Ciass10」以下のクリーン度に対応できる仕様にした。投資額は約35億円。 　 ニュースリリース参照 http://www.chem-t.com/fax/images/tmp_file1_1137659354.tif