高純度塩素プラント

　昭和電工は18日、半導体や液晶パネルの製造に使用される「高純度塩素」の生産能力増強に着手したと発表した。

　高純度塩素は、これまで主に半導体製造のエッチング工程（注1）に使用されていたが、最近は、液晶パネルのアレイ製造工程（注2）でのエッチングガスとしても需要が急拡大している。
　
　同社は現在、川崎製造所に年産300トンの高純度塩素の精製および充填能力を有しているが、2007年上期中に精製能力を1000トン、充填能力を600トンに引き上げる。充填設備は08年までにさらに1000トンに拡大する。

　半導体の製造工程では、高純度塩素をはじめ多くの特殊材料ガスが使用されているが、高純度塩素は今後も安定した需要が期待できる。液晶パネル向けも、ガラス基板の大型化により需要が急拡大中だ。高純度塩素の市場規模は、2010年には2005年対比約3倍に増大すると予想されている。

＜解説＞
（注1）エッチング工程：シリコン基板の上を覆う薄い膜に、微細な溝や孔を刻みつけて電子回路等を作る工程
（注2）アレイ製造工程：ガラス基板上に薄膜トランジスター（TFT）の配列を作りこむ工程

ニュースリリース参照
http://www.chem-t.com/fax/images/tmp_file1_1161139568.doc

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