2001年07月17日

デュポン・エアプロダクトス・ナンマテリアルズ社、シリコンウエハー用研磨液を発売

【カテゴリー】：新製品/新技術 【関連企業・団体】：デュポン

デュポン・エアプロダクトス・ナンマテリアルズ社((DA　NanoMaterials)はシリコンウエハー研磨の効率を上げる新しいスラリー混合物を開発、発売を開始した。 　日本にある研究チームにより開発されたこのスラリーブレンドは、『Mazin SR　300』の商標で市場に出される。同社は米国デュポン社とエアプロダクツ・アンド・ケミカルズ社の50:50合弁会社であり、この製品は合弁会社設立後、初の製品となる。 　新しいスラリーは、シリコンウエハー表面に金属によるコンタミを最低限に抑えることから、高い除去速度を可能にする。『Mazin SR 300』は他のスラリーより常に高い希釈率で早い除去レートを実現でき、これにより研磨コストが削減できる。またパッドグレージング現象も最小限に抑えられる。 　同社はウェールズのルアボンと宇都宮でMazin SR 300を製造し、世界の各市場に向けて販売する。世界の研磨用スラリー市場は推定で約5億ドル(625億円)の規模を持ち、年率25%で成長している。 一方、Praxair Surface Technologies社では、シリコンウエハー用のコロイダルシリカ・ポリッシング・スラリー製品シリーズを発売した。同スラリーは半導体のウェーハのオキシド層の化学研摩(chemical mechanical planarization, CMP)を目的とする製品。この新CMPスラリーシリーズにはカリウム系(商品名K3000)とアンモニア系(商品名N3000)を揃えている。