2008年12月01日

旭硝子 パッケージ用感光性絶縁膜の開発に成功

【カテゴリー】：新製品/新技術（経営） 【関連企業・団体】：旭硝子

AGC(旭硝子・本社東京 石村和彦社長)は、新しい感光性絶縁膜(製品名:ALポリマーX2000シリーズ)の開発に成功した。半導体デバイスの製造工程における再配線層を主なターゲット用途とし、生産は千葉工場で行い2009年1月より販売を開始する。 　今回、開発された製品はフッ素化学技術を活かし開発され、低温硬化特性、低誘電率特性、高伸張特性などの各性能をバランスよく実現するとともに、高い解像度、平坦化特性と低吸水性が付加されたため微細化、高速化が進む半導体回路の開発、製造において非常に有用だという。なお、デバイスへの適用評価には米国RTI International 社の協力を得て半導体デバイスのパッケージング工程での実証検討を実施した。 ニュースリリース参照 ○新しいパッケージ用感光性絶縁膜の開発に成功 http://www.chem-t.com/fax/images/tmp_file1_1228104272.pdf ○Asahi Glass Succeeds in Development of New Photosensitive Insulating Film for Packages http://www.chem-t.com/fax/images/tmp_file2_1228104272.pdf