| 2009年02月25日 |
| 旭硝子とセマテックがEUVマスクブランクス共同開発パートナーシップを締結 |
| 【カテゴリー】：経営 【関連企業・団体】：旭硝子 |
旭硝子(本社:東京、石村和彦社長)と世界の先端半導体メーカー協同組合であるセマテックは25日、次世代半導体製造のためのEUVマスクブランクスの商業化を加速するために、共同開発パートナーシップを締結したと発表した。旭硝子とセマテックは欠陥のないマスクブランクスを大量生産するために共同開発を行う。 同社は極低膨張ガラスの合成から、堆積膜、レジスト膜を付加してEUVマスクブランクスを垂直統合し製造することができる唯一のメーカー。セマテックとは、これまでも多くの共同開発による技術的成果を挙げている。 ニュースリリース参照 ○旭硝子とセマテックがEUVマスクブランクス共同開発パートナーシップを締結 http://www.chem-t.com/fax/images/tmp_file1_1235543973.pdf ○SEMATECH and Asahi Glass Form Joint Development Partnership to ・・・ http://www.chem-t.com/fax/images/tmp_file2_1235543973.pdf |