2010年05月25日

昭和電工、日立から触媒式ガス処理装置事業譲り受け

【カテゴリー】：経営（新製品/新技術） 【関連企業・団体】：昭和電工

昭和電工は25日、日立製作所から大型液晶パネルなどの生産ライン向けに適した触媒式PFC(パーフルオロカーボン)排ガス処理装置事業を譲り受けると発表した。譲受は今年6月までに行われる。 これにより半導体や液晶パネルの製造工程で使用した後のPFCガス類(注)を処理する装置事業の強化を図る。従来の中・小型半導体生産ライン向け処理装置事業との相乗効果により、2015年には売上高30億円を目指す。 同社は、2000年に分解反応式PFC排ガス装置事業を開始して以来、400台以上の販売実績をあげてきたが、新たに触媒式PFC排ガス処理装置事業を加えることにより、分解反応式では難しかった大型液晶パネル向け分野への進出が可能となった。 昭電は現在、排水処理での用水使用量を大幅に削減し、フッ素成分を装置内で固定化する分解反応式・触媒式の技術を組み合わせた「ハイブリッド式排ガス処理装置」を開発中だ。さらに排ガス中のフッ素成分をフッ素の原料等に利用可能なフッ化カルシウム(合成蛍石)としての回収を目指している。このハイブリッド式排ガス処理装置を2011年には販売する方針である。 ＜用語の解説＞ ■PFC(パーフルオロカーボン)ガス類(Perfluorocarbon) : 水素や塩素を含まないフッ化炭素系化合物および六フッ化硫黄(SF6)等を指す。二酸化炭素(CO2)、メタン(CH4)、亜酸化窒素(N2O)と同様に、京都議定書において地球温暖化ガスとして削減対象とされている。 ニュースリリース参照 http://www.chem-t.com/fax/images/tmp_file1_1274753457.doc