MO:Metal Organics

宇部興産は9日、発光ダイオード(LED)やレーザーダイオード(LD)の製造に必要な原料となる、有機金属化合物(MO:Metal Organics)の生産能力を増強するため、第2工場を山口県宇部市の宇部ケミカル工場内に新設することを決めたと発表した。

稼働開始は2012年初の予定。生産能力は現在の5〜10倍となる見込み。投資金額は非公開。

MOは、宇部興産の半導体プロセス材料の主力商品の一つで、高輝度白色発光ダイオード等の化合物半導体のMO-CVD法(注)の原料として、日本をはじめアジア地域を中心に、需要が急拡大している。

同社は1980年代からMOの研究に取り組み、1992年から製造、販売を開始してきた。不純物が極めて少ない高純度品で、安定した取出しが可能な専用容器で出荷している。

また、業界トップクラスの品揃えを有し、トリメチルガリウム(TMG)、トリメチルインジウム(TMI)、トリメチルアルミニウム(TMA)などをMO-CVD法で製造する際のMO全てを自製している。


MOの製造に使用する原料は非開示。今回の能力増強により、MOを含む半導体プロセス材料の売上高100億円以上を目指す。

【用語の解説】
■ M0-CVD法　：有機金属気相成長法( Metal Organic Chemical Vapor Deposition)　化合物半導体の製造に用いられる代表的な結晶成長方法で、原料としてMOが使用される。

ニュースリリース参照
http://www.chem-t.com/fax/images/tmp_file1_1297226537.pdf

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