2012年02月13日

日本ゼオン、「ゼオノアフィルム」ナノインプリント用に展開

【カテゴリー】：新製品/新技術 【関連企業・団体】：日本ゼオン

日本ゼオンは13日、透明性、転写性に優れたシクロオレフィンポリマー成形品「ゼオノアフィルム」（商品名）を ナノインプリント技術用途に展開すると発表した。 同社は「ゼオノアフィルム」を素材としてナノ加工するだけでなく、工程用フィルムとしての技術開発にも取り組んできた。あらかじめ微細加工を施した工程用離型フィルムを用いて光硬化性樹脂を転写し、その後離型させることによって、ナノインプリントフィルムを生産する。 従来、工程用離型フィルムにはフッ素樹脂フィルムやPETフィルムが使用されてきたが、フッ素樹脂には微細加工性やアウトガス、またPETフィルムには離型性や微細転写性などの課題があった。 「ゼオノアフィルム」は高透明性、高耐熱性などの光学特性のほか、他樹脂との離型性や微細転写性、寸法安定性に優れるなどの特徴を持っている。 このため今後、ナノインプリントに用いられる工程用フィルムとして本格展開する。 ニュースリリース参照 http://www.chem-t.com/fax/images/tmp_file1_1329124069.mht