高効率なPFC分解装置「HB-3000」

昭和電工は5日、水処理工程が不要な乾式ハイブリッドシステムにより、高効率なPFC(パーフルオロカーボン)分解装置「HB-3000」を開発したため、近く発売すると発表した。

液晶パネルや半導体のエッチング工程で使用されるPFCは、地球温暖化係数の高い温室効果ガスであり、使用後排出の際に分解処理する必要がある。分解方法には化学反応方式と触媒方式があるが、新開発した同装置は両方式の利点を生かした。

装置の大きさは、5,075ミリ(高さ)× 6,500ミリ(長さ)× 2,400ミリ(幅)
1台当たりの販売価格は1億5000万円。

今後、高い成長が期待される中国などの海外市場も含めて販売展開し、2015年度には排ガス処理装置事業として年間30億円の売上をめざす。

同装置の主な特徴は以下のとおり。
(1)反応剤を直接装置に自動供給・排出するため、従来の大型触媒方式と同等の排ガス処理能力(毎分3,500リットル)を保ちながら、コンパクトサイズを実現。
(2)従来方式に比べランニングコスト、水処理コストの削減が可能となった。
(3)除害後に発生するCaF2(フッ化カルシウム)は、合成蛍石として再利用できる。


ニュースリリース参照
http://www.chem-t.com/fax/images/tmp_file1_1346810382.doc

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