2000年11月29日

東芝セラミックス、300ミリウエーハ量産計画決まる

2002年秋、月産4万枚能力に

【カテゴリー】：新製品/新技術 【関連企業・団体】：東芝

東芝セラミックスは29日、次世代「300ミリウエーハ」の量産プランを決定した、と発表した。 　独自技術で開発した水素アニール(Hi)ウエーハは多くの半導体メーカーから300ミリプロセスに最適として注目を集めており、すでに国内外の各社からサンプル要求を受け評価中という。現在300ミリHiウエーハの量産ライン構築を進めているが信越半導体がセカンドベンダーとなることで安定供給体制を確立している。 　また東芝セラミックスは水素中で熱処理を施したHiウエーハ「Hyper Hi ウエーハ」を展開しており、ナノトポロジーをはじめ微細デバイスが要求する仕様を満たしていることを確認ずみだという。 　300ミリHyper Hi ウエーハの生産量は2001年4Qからのスタート、2002年4Qには月産4万枚の生産能力とする。投資額は約280億円の見込み。