2000年11月07日

信越半導体、熱処理シリコンウエーハに本格進出

東芝セラミックスの第2次供給者に決まる

【カテゴリー】：ファインケミカル 【関連企業・団体】：信越化学工業、東芝

信越化学工業の100%子会社、信越半導体は7日、東芝セラミックスのシリコンウエーハを水素気流中で熱処理して性能を高めた「水素処理ウエーハ」(商品名『ハイウエーハ』)のセカンドベンダー(第2次供給者)を引き受けることになった、と発表した。 　熱処理ウエーハは、シリコンウエーハを熱処理し、ウエーハ表面の欠陥を減らして金属不純物の捕かく(ゲッタリング)能力を高めたもので、半導体デバイスの微細化や高性能化に対応した。 　同社は水素処理ウエーハを加えることでユーザーの多様なニーズに応え、熱処理ウエーハ分野の事業拡大を図ってきた。 　また、東芝セラミックスは、同社が手がける水素処理ウエーハ事業をさらに拡大するには、ユーザーからセカンド・ソースの確保を求められていた。このためシリコンウエーハ業界最大手の信越半導体から引き取り安定供給体制を確立することにした。 　東芝セラミックスは、これについて「デバイスメーカーさんからはセカンドベンダーについて非常に強い要望があった。同業者は世界に7社ほどあるが、技術面で協力しあえる信越半導体と利害が一致した」といっている。