2014年10月22日

三井化学、超高精密フッ素系新材料・23日発表

【カテゴリー】：新製品/新技術 【関連企業・団体】：三井化学

三井化学は22日、超高精細なナノインプリントを実現する材料「FROMP」を開発、京都市で開催中の「第13回ナノインプリント・ナノプリント技術国際会議」で紹介する、と発表した。 ナノインプリントとは、ナノサイズのパターンを転写により成形するための型で、高精細化に伴い、半導体や光デバイスなどのへの応用も期待されている。 三井化学は23日午後4時から、ANAクラウンプラザホテル京都（京都市中京区）の会場で発表を行う。 テーマは「ナノインプリント材料に適したフッ素系開発材料 FROMP」で、独自の触媒技術を生かして、ナノインプリントのレプリカモールドに最適な仕様となるように分子構造を設計した。 以下のような特徴を持つ。 ・ 優れた透明性、耐光性 : UV硬化型の材料に用いることが可能になる。 ・ 易離形性 : 様々な材料からの離形が容易で、幅広い材料の型に用いることができる。 ・ 硬化時の収縮なし : マザーモールドのパターンを、正確にレプリカモールドへ転写する。 ・ L&S（ライン&スペース）40nm : パターン精度が保てるサイズで、超高精細を達成。 ニュースリリース参照 http://www.chem-t.com/fax/images/tmp_file1_1413962931.pdf