韓国の高純度亜酸化窒素精製設備

昭和電工は4日、半導体製造用特殊ガスの一つ、高純度亜酸化窒素の需要拡大に対処するため、韓国のメーカーと共同でソウル近郊に建設していた年産600トンの精製設備が完成したと発表した。3月から本格運転に入る。

設備は韓国の産業用ガスメーカー斗岩産業と共同で同社工場内（京畿道安城市）に完成した。

高純度亜酸化窒素は、半導体CVDプロセスで使用される特殊ガスで、アジア地域では年率10％以上の需要拡大が見込まれている。近年はディスプレイ製造時の酸化膜分野にも用途が拡がっている。

今回の設備新設により、昭電グループの高純度亜酸化窒素供給能力は、川崎事業所の年間生産1,200トンと合わせて同1,800トンに拡大した。

昭電は、高純度アンモニアをはじめとする半導体高純度ガスを成長事業と位置づけており、今後、アジア市場を中心にグローバル展開を加速していく方針だ。


ニュースリリース
http://www.chem-t.com/fax/images/tmp_file1_1423023778.pdf

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