2015年07月16日

産総研、豊橋技術科技大学と研究・協力協定

【カテゴリー】：行政/団体 【関連企業・団体】：産業技術総合研究所

産業技術総合研究所は、豊橋技術科学技術大学（TUT）との間で、「AIST-TUT先端センサ共同ラボラトリー」を設置し、連携・協力の覚書に調印した。 産総研における「ミニマルファブ」のデバイスプロセス技術と、TUTの持つ最先端センサデバイスの研究開発力・機能を融合することで、わが国の科学技術及び産業技術の振興と、それに係る教育・研究開発の促進を精力的に進めていくことにした。 TUTと産総研は、「AIST－TUT先端センサ共同研究ラボラトリー」を通じて、次の4点の連携・協力を行うとともに、産総研は先端センサ共同研究ラボラトリーの運営に協力していくことにしている。 （1）共同研究等の研究協力 （2）研究交流及び人材交流 （3）教育・人材育成の相互支援 （4）研究施設・設備の相互利用 ＜用語の解説＞ ■ミニアルファブとは　：ハーフインチウェハーを製造基板単位とする革新的な半導体生産システムのこと。日本の半導体産業は、世界的な過剰生産によって大きな打撃を受けた。だが大量生産に対する解決策として、半導体デバイスの歩留まりを追求し、最低コストで最適生産する手法を求める動きが研究者の間に出てきた。巨大投資を必要とするクリーンルームを使わず、局所クリーン化搬送システムを開発するなどが取り組みの一例。 2010年には国家プロジェクトが立ち上がり、21企業（現在25社）、1国研（産総研）による「ミニマルファブ技術研究組合」もスタートしている。