2015年12月14日

NEDO事業、EUV光源で出力108Wの安定発光成功

【カテゴリー】：新製品/新技術 【関連企業・団体】：NEDO

新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）は14日、ギガフォトン社（本社：栃木県小山市、都丸仁社長）がこのどどEUVスキャナー（極端紫外線を用いた半導体用次世代露光機）用レーザー生成プラズマ（LPP）光源のプロトタイプを開発し、エネルギー安定性平均0・5％以下で、ロジック生産適用可能レベルである出力108W、24時間の連続稼動を達成したと発表した。 108Wという出力は、ロジック生産適用可能レベルで、量産対応EUVスキャナーの実現に向けて大きく進捗したことを意味するとしている。NEDO「戦略的省エネルギー技術革新プログラム事業」の成果。 ギガフォトンは、小松製作所系列の開発型ベンチャーで半導体リソグラフィ用エキシマレーザーなどを製造販売している。 今回開発した技術は、2015年度中には高出力検証機を稼働させ、メモリー等への量産対応目安である250Wレベルの連続稼働を目指す。高出力検証機は省電力CO2レーザーの導入とEUV光の発生効率向上を実証し、省エネルギー化を目指す。 同社は同研究成果を12月16～18日、東京ビッグサイトで開催される「SEMICON Jyapan 2015」で発表する。