2016年02月04日

昭電、特殊ガス高純度三塩化ホウ素設備を拡大

【カテゴリー】：経営 【関連企業・団体】：昭和電工

昭和電工は4日、川崎工場の電子材料用特殊ガス、高純度三塩化ホウ素（BCl3）の生産能力を1.5 倍に引き上げると発表した。 高純度BCl3は、液晶パネルやシリコン半導体の製造工程で、アルミ配線の微細加工（エッチング）に使用される電子材料製造用の特殊ガス。近年、アルミ配線を使用する有機EL（OLED）パネルや低温ポリシリコン（LTPS）液晶パネルへの投資が相次いでおり、今後も安定的な需要が予想されることから今回、増強を決めた。本年3月に稼働を開始する。 昭電は電子材料用高純度ガス事業で約40年の歴史を有し、フッ素系・塩素系・臭素系・アンモニア系など多様な高純度ガスを製造・販売する世界唯一の企業として発展してきた。現中計でも電子材料用高純度ガスを成長加速事業に位置づけ、今後さらに拡大する世界の電子材料市場への展開を拡大・強化していく方針だ。 ニュースリリース http://www.chem-t.com/fax/images/tmp_file1_1454560976.pdf