2016年04月14日

東洋炭素、SiC高品質薄板化エピウエハ製品開発

【カテゴリー】：ファインケミカル 【関連企業・団体】：NEDO

新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）は14日、東洋炭素（本社：大阪市西淀川区、小西隆志社長）と関西学院大学が共同で、コア技術のSi蒸気圧エッチング技術を用いた「SiCウエハの平坦表面処理技術」を完成させ、従来の処理法に比べてエピ欠陥を20分の1に低減したと発表した。NEDOプロジェクト（戦略的省エネルギー技術革新プログラム）の成果となる。 この「Si蒸気圧エッチング技術」を応用することで、ウエハ薄板化加工も容易となり、高品質薄板化SiCエピウエハの製造を可能にした。今後、SiCデバイスの実用化が加速、自動車や機器の省エネ化を可能にした。 東洋炭素では、これらの開発技術を生かして、量産製造装置の導入・製品化につなていく方針だ。