2016年12月05日

昭和電工、徳山にフォトレジスト用溶剤設備新設

【カテゴリー】：新製品/新技術 【関連企業・団体】：昭和電工

昭和電工は5日、高純度溶剤「ソルファイン」シリーズの新グレード製品を開発し、徳山事業所に精製設備を新設するため同日起工式を行ったと発表した。2017年5月に完工、6月から商業運転開始の予定。 新グレード製品は、従来製品をさらに高純度化した超高純度溶剤。これまでは主に液晶・半導体の洗浄剤向けだったが、新グレード溶剤は、主に半導体フォトレジスト用として販売する。これまでのサンプルワークで一定の成果を得たことから、新設備の建設を決めた。 新設備では半導体フォトレジスト向けに需要が見込まれるシクロヘキサノン及び数種類の溶媒から生産を開始し、ユーザーニーズに対応しながら製品ラインアップ拡大を図る。また供給は、中・小型ロットだけでなく、従来困難だったローリー等の大型容器での供給も可能で、自社で精製・分析・品質保証を行うことで、フォトレジスト用に溶媒を安定供給していく方針だ。 ■「ソルファイン」新シリーズの主要スペック　（　）従来シリーズ ◇純度　 99.95wt% 以上（ 99.5wt% 以上） ◇水分　 0.01wt% 以下（ 0.1wt% 以下 ） ◇メタル保証項目　 26項目（18項目） ◇メタル保証レベル　0.1wtppb以下（1wtppb以下） ◇パーティクル（0.1μm）　100個/ml以下（ 500個/ml以下） ニュースリリース参照 http://www.chem-t.com/fax/images/tmp_file1_1480907227.pdf