2016年12月19日

昭電、韓国で半導体用高純度ガス合弁事業化

【カテゴリー】：経営 【関連企業・団体】：昭和電工

昭和電工は19日、韓国のSKマテリアルズ（SKM）と半導体用高純度ガスCH3F（モノフルオロメタン）の製造販売を行う合弁会社「SK 昭和電工」を設立することで合意したと発表した。 新会社は17年2月設立の予定。資本金 210億 韓国ウォン（約19億円　；昭和電工49％、SKM51％） SKMは韓国SKグループの高純度ガス製造会社で、同社工場内に昭電技術でプラントを新設する。 プラントの規模は年産20トン、17年8月完成の予定。設備投資額は非開示。 CH3Fは半導体の製造工程で窒化膜の微細加工（エッチング）に使用される特殊ガス。主に微細化が必要なNANDフラッシュ、DRAM等の半導体メモリ製造工程等で使用され、引き続き需要の伸長が見込まれている。 ニュースリリース参照 http://www.chem-t.com/fax/images/tmp_file1_1482122966.pdf