2017年07月13日

JSR、EUVレジスト開発の米国Inpria社に出資

【カテゴリー】：経営 【関連企業・団体】：JSR

JSRは12日、米国で金属含有EUVレジストを開発中のInpria Corporationに出資したと発表した。 同社がEUVレジストの商業化を前提に募集したSeries B Fundingに参加する形になる。 Inpria社は、非化学増幅型金属含有EUVレジストの開発に取り組むベンチャー企業。EUV露光系で世界最高性能の限界解像度を達成した。有機レジストに比べてドライエッチング耐性が高いなど、多くの優れた性能を有する。 JSRは今回出資を通じて多様な面でInpria社と協力し、EUVレジストの実用化取り組みを加速していく方針だ。 （用語の解説） ■「Series B」とは　：ベンチャー企業に対して出資する段階の1つで、シリーズAに続く第2段階を示す投資のこと。シリーズAは、起業したばかりのスタートアップ企業に対して行われるが、シリーズBはある程度事業が進んだ段階にある企業への投資をいう。 ニュースリリース参照 http://www.jsr.co.jp/news/0000742.shtml