2018年01月17日

産総研、TFT検査技術を大幅高速・大面積化

【カテゴリー】：新製品/新技術 【関連企業・団体】：産業技術総合研究所

産業技術総合研究所は、独自に開発した薄膜トランジスタ（TFT）アレイの検査技術を大幅に高速・大面積化させることに成功したと発表した。大面積化・省エネルギー化が可能な印刷法は、ディスプレイやタッチパネル情報入出力機器の製造技術として期待されているが、数百万個のTFTとストレージキャパシターがアレイ状に配列された情報出入力機器の駆動回路を短時間で検査することは難しく、高生産効率と高品質を両立させる上での課題となっていた。 今回、TFTアレイの駆動状態を光学イメージ化して一括検査できる、産総研独自のデバイス評価技術（ゲート変調イメージング技術）を改良し、検査時間を10分以上から3分以内に短縮することに成功した。検査面積を1ミリ角から3センチ角に大幅拡大させた。これはTFT約30,000素子を3分以内に検査することと同じとなる。さらに同技術を応用したストレージキャパシターの検査も可能にした。今後、印刷法による大面積デバイスの高品質化が期待できる。