2018年03月26日

昭和電工、高純度臭化水素 増強設備が稼働入り

【カテゴリー】：経営 【関連企業・団体】：昭和電工

昭和電工は26日、川崎事業所で進めていた高純度臭化水素（HBr）増強工事が完了し、本格生産を開始したと発表した。年産600トンの合成・精製設備を1.5倍の同900トンに拡大した。 高純度HBrは、DRAMやNAND型フラッシュメモリ等の半導体製造工程でポリシリコンの微細加工（エッチング）に使用される特殊ガス。IoT、ビッグデータ、自動運転などデジタライゼーションの加速化で拡大する半導体市場とともに、高純度臭化ガスの需要も大幅な伸長が見込まれている。 同社は電子材料用高純度ガス事業に約40年の歴史を持ち、フッ素系・塩素系・臭素系・アンモニア系など多様な高純度ガスを製造・販売する世界唯一のメーカー。引き続き世界の電子材料市場に向けグローバル展開していく方針だ。 ニュースリリース http://www.chem-t.com/fax/images/tmp_file1_1522048340.pdf