2019年03月22日

世界初、ガスから1立方センチ級単結晶ダイヤモンドの作製に成功

【カテゴリー】：新製品/新技術（行政/団体） 【関連企業・団体】：産業技術総合研究所

国立研究開発法人 産業技術総合研究所（産総研）は、マイクロ波プラズマCVD法を用いて、世界で初めて、ガスからクラックのない1立方センチ級の体積を持った単結晶ダイヤモンドの作製に成功したと発表した。 ガスを原料とする手法で世界最大級の高品質結晶を作製でき、大型ウエハー実現につながる大きな一歩となる。今後、ダイヤモンドを用いた次世代パワー半導体の開発が加速し、さまざまな電気機器に組み込まれることにより、より高効率な電力利用が可能になり、省エネルギー社会実現につながることが期待できる。 1立方センチ級の体積を持った単結晶ダイヤモンドは、現在、市販されている単結晶ダイヤモンドの100倍で、大面積に対応可能な結晶成長技術の確立が急務だった。 ダイヤモンドは、耐電圧や熱伝導率などの物性値が半導体物質中最高水準で、広範な応用が期待される材料で、その実用化の前提となる大型ウエハーの実現と供給体制を確立することが望まれていた。 この技術の詳細については、3月28日、29日の両日、内閣府とNEDOの共催で開催される、SIP「次世代パワーエレクトロニクス」公開シンポジウムにて、成果報告と試料展示を行う予定。 シンポジウム案内HP：https://www.nedo.go.jp/events/IT_100040.html