2019年06月03日
昭和電工、電子材料用高純度ガスの価格改定
【カテゴリー】:市況
【関連企業・団体】:昭和電工

昭和電工は3日、半導体等の電子材料用に使用される高純度ガス4製品の価格改定を行うことを決定したと発表した。

【価格改定の内容】
・対象製品:高純度HFC-23 (以下分子式、CHF3)
      高純度FC-218 (以下分子式、C3F8)
      高純度六弗化硫黄 (以下分子式、SF6)
      高純度塩化水素 (以下分子式、HCl)
・値上げ幅:現行価格の15%以上
・実施時期:2019年7月1日以降納入分より適用

電子材料用高純度ガスは、半導体・ディスプレイ・窒化ガリウム系LED・多結晶シリコン系
太陽電池等の製造の工程で使われる製造設備内に付着する不要な化学物質を取り除くためのガス(クリーニングガス)や、基板の上を覆う薄い膜に微細な溝や孔を刻みつけて電子回路等を作るためのガス(エッチングガス)として使われる。


ニュースリリース参照
https://www.chem-t.com/fax/images/tmp_file1_1559539499.pdf