2020年06月16日

北大、「深紫外線で動作するバイオセンサー」開発

【カテゴリー】：新製品/新技術 【関連企業・団体】：北海道大学

北海道大学 電子科学研究所の太田裕道教授らの研究チームは16日、深紫外線を透過する透明な薄膜トランジスタの作製に成功したと発表した。 バイオセンサーとして現在は、半導体シリコンを活性層とするトランジスタが利用されているが、シリコンのバンドギャップが小さいため，トランジスタ動作中に殺菌灯などの深紫外線を照射すると動作が不安定になるという問題がある。 研究チームは、バンドギャップが4.6eVと大きい酸化物半導体スズ酸ストロンチウムを活性層とする薄膜トランジスタを開発した。材料の組み合わせなどを最適化したトランジスタは、明確なトランジスタ特性を示すだけでなく、電極を含まない状態で波長260nmの深紫外線を50%以上透過する。 同研究による深紫外線透明トランジスタは、殺菌灯の深紫外線を照射した状態でも動作する、全く新しいバイオセンサーの原型になると期待される。 同研究成果は、日本時間6月15日に「Advanced Electronic Materials 誌」のオンライン掲載された。