2021年01月08日

経産省「ポスト5G情報通信 基盤強化」公募

【カテゴリー】：新製品/新技術 【関連企業・団体】：経済産業省

経産省は8日、NEDOを通じて「ポスト5G情報通信システム基盤強化研究開発事業／先端半導体製造技術の開発（助成）」の公募を同日から開始した。公募期間は令和3年1月8日から2月8日12時00分。 第4世代移動通信システム（4G）と比べてより高度な第5世代移動通信システム（5G）は、現在各国で商用サービスが始まりつつあるが、さらに超低遅延や多数同時接続といった機能が強化された5G（ポスト5G）は、今後、スマート工場や自動運転といった多様な産業用途への活用が見込まれており、我が国の競争力の核となり得る技術と期待されている。 同事業では、ポスト5Gに対応した情報通信システムで必要となる先端半導体の製造技術の開発をすることにより、我が国のポスト5G情報通信システムの開発・製造基盤強化を目指す。 ◆事業概要　：先端半導体製造技術の開発（助成） 　先端半導体製造プロセスのうち、前工程に係る製造技術（微細化（More Moore）技術）の開発。パイロットラインの構築等を通じて、先端半導体製造プロセスのうち前工程に係る製造技術（微細化（More Moore）技術）の開発を実施する事業を公募する。 具体的には、2nm以降のプロセスノード※1の先端半導体に求められる高性能な露光・微細加工技術、成膜技術、アニール技術、エッチング技術、洗浄技術等のうち、特に新規開発や大幅な性能向上が必要となる製造・プロセス技術等を開発するとともに、パイロットラインの構築等を通じて、微細加工を施した実ウェハーによる製造装置の評価・検証を実施し、国内に無い先端性を持つロジック半導体の製造技術を確立する。 問い合わせは 商務情報政策局（電話：03-3501-6944・直通）