2021年05月26日

三井化学、EUV ペリクルの商業生産を開始

【カテゴリー】：経営 【関連企業・団体】：三井化学

三井化学は26日、半導体向けEUV ペリクルの商業生産を開始したと発表した。同社は、オランダ・ASML社とのライセンス契約に基づき同社岩国大竹工場内に生産設備を新設。今回、世界に先駆けての商業生産となった。今後は世界市場に向けて、EUVペリクル事業の拡大と次世代製品の開発に注力する。 ＜用語の解説＞ ◆EUV ペリクルとは　：第5世代移動通信システム（5G）導入によるデータ通信の超高速化は、スマートフォンの更なる高機能化とそれを支える半導体の高性能化をもたらすと期待されている。先端デバイスに用いられる半導体では、回路線幅7nm 以下の超微細化が必要であり、超短波長であるEUV 露光技術の採用が本格的に拡大している。EUV ペリクルは、その露光工程で利用されるフォトマスクの防塵カバーとなる。 ニュースリリース EUVペリクルの商業生産を開始 https://www.chem-t.com/fax/images/tmp_file1_1622003767.pdf Mitsui Chemicals Commences Commercial Production of EUV Pellicles https://www.chem-t.com/fax/images/tmp_file2_1622003767.pdf