2021年08月31日

住化、半導体フォトレジスト生産体制 2.5倍に拡大

【カテゴリー】：行政/団体 【関連企業・団体】：住友化学

住友化学は31日、最先端プロセス向けフォトレジストの生産体制を強化すると発表した。大阪工場（大阪市此花区）で、液浸 ArF（フッ化アルゴン）および EUV（極端紫外線）フォトレジストの製造ラインを増設するほか、同社の 100％子会社である東友ファインケムの益山工場（大韓民国全羅北道益山市）に、液浸 ArF フォトレジストの製造プラントを新設します。稼働開始は、大阪工場は 2023 年度上期、東友ファインケムは 24 年度上期を予定している。 　フォトレジストは、半導体製造プロセスにおける回路パターン形成に使用される感光性樹脂。同社は、各種ファインケミカル事業で培った有機合成技術をベースに高度な製品設計・評価技術を確立し、大阪工場を中核にタイムリーな顧客対応力などを生かして事業を拡大してきた。 　なかでも、微細加工を要する最先端プロセスで主として使用される液浸 ArF フォトレジストは、性能優位性と品質安定性により世界的に高いシェアを占めている。 　 　東友ファインケムは、線幅の広いプロセス向けの i 線・KrF（フッ化クリプトン）フォトレジストの製造拠点として、20 年以上にわたり生産活動を続けている。 　住友化学は、19 年度以降、第 5 世代移動通信システム（5G）の本格商用化などを背景とした最先端プロセス向けフォトレジストの需要拡大を見据え、大阪工場で段階的な生産能力増強や、クリーンルームの建設などによる開発・評価体制の強化を進めてきた。 　 　半導体市場は、データ通信の高速化や大容量化により今後も継続的な拡大が見込まれるため、今回、大阪工場での製造ライン増設に加え、事業継続計画（BCP）の観点も踏まえて、東友ファインケムへの製造プラントの新設を決めた。 　 　こうした取り組みの結果、同社グループの最先端プロセス向けフォトレジストの生産能力は、24年度には19年度比で約 2.5 倍となる。今後も、旺盛な半導体需要に応えるべく機動的かつ積極的な供給体制の整備を進め、市場のニーズ市場のニーズに沿った高品質な製品を安定供給することで、フォトレジスト事業の規模拡大を目指す。 　 　 　ニュースリリース参照 　https://www.chem-t.com/fax/images/tmp_file1_1630398174.pdf