2021年11月19日

三菱ケミと日製鋼、世界最大4インチGaN結晶成長確認

【カテゴリー】：行政/団体 【関連企業・団体】：三菱ケミカル

三菱ケミカルと日本製鋼所の両社は19日、世界最大級のGaN基板製造実証設備で4インチGaN結晶の成長を確認したと発表した。 両社はNEDOの「戦略的省エネルギー技術革新プログラム」でパワーエレクトロニクス用大口径バルク 窒化ガリウム GaN 基板の実証開発に取り組んでいる。同実証開発で、2021年5月に世界最大級の GaN 基板製造実証設備が完成し、同設備により高品質な GaN 基板の低コスト製造技術 「 SCAATー LP 」を用いた4インチ GaN 基板の量産に向けた 結晶成長試験を進めてきた。このほど4インチ GaN 結晶が計画通りに結晶成長していることを確認した 。 大型実証設備はパイロット設備のオートクレーブに比べて大幅にスケールアップしており、大量の GaN 基板の製造 が可能だ。今後、大型実証設備でさらなる実証実験を行い、高品質な GaN 基板の安定供給を通じて超高効率デバイス実現を目指す。22年度初頭から市場供給を開始する予定だ。 ニュースリリース https://www.chem-t.com/fax/images/tmp_file1_1637301854.pdf