2021年12月22日

東北大、シリコン結晶の表面構造を迅速に決定

【カテゴリー】：新製品/新技術 【関連企業・団体】：東北大学

半導体ナノテクノロジーに重要なシリコン結晶は、複雑な表面構造を示すこでが知られ、これまでは、複雑な表面構造を決定するために、様々な手法により長い年月をかけた研究・解析が必要だった。 　 　東北大学国際放射光イノベーション・スマート研究センターの虻川匡司教授（多元物質科学研究所兼務）らの研究グループは22日、その複雑な表面構造を詳細に迅速に決定することに成功したと発表した。 　 　独自に開発した数千枚の電子回折パターンを短時間で測定する方法で、表面から5原子層程度の厚さ1ナノメートルの領域の原子配列を三次元的に精密に決定することに世界で初めて成功した。 同研究成果は、12月8日に「Physical Review Research」誌に掲載された。 ＜用語の解説＞ ◆電子回折　：エネルギーのそろった電子を結晶に入射したときに、周期的に配列した原子に散乱されて生じる回折現象を使って原子の配列を解析する手法。 ニュースリリース参照 https://www.tohoku.ac.jp/japanese/newimg/pressimg/tohokuuniv-presss20211222_01web_Si.pdf