2022年05月27日

旭化成、フォトマスク用ペリクル事業を三井化学に承継

【カテゴリー】：経営 【関連企業・団体】：旭化成

旭化成は27日、日本国内のほか、韓国、台湾、北米および中国でフォトマスク用ペリクル製品の製造、開発、販売事業を手がけている連結子会社、旭化成 EMSの全株式を三井化学に吸収分割方式で承継させることにし、同日契約締結したと発表した。分割効力の発生日は2023年7月1日付。簡易吸収分割のため、開示事項・内容は省略する。 ＜用語の解説＞ ◆フォトマスク用ペリクルとは　：半導体や液晶パネルの露光工程で、微細パターンが描かれたフォトマスクに塵が付着しシリコンウェハーやパネル基盤に結像することを防ぐために、フォトマスクのカバーとして使用される保護膜。旭化成は主に、フラットパネルディスプレイ（FPD）製造時に使用する大型ペリクルと、半導体・LSI 製造時に使用される小型ペリクルを扱っている。 ニュースリリース https://www.asahi-kasei.com/jp/news/2022/c62c6s00000002jj-att/ze220527.pdf