2023年05月15日

ダイセルの半導体保護材料、国際科学誌で紹介

【カテゴリー】：新製品/新技術 【関連企業・団体】：ダイセル

ダイセルは15日、同社が開発した、エッチング液からシリコン窒化膜を保護する保護材料「ナノひっつき虫」に関する研究成果が、国際科学誌「Microelectronic Engineering」（ 5月1日付 ）に掲載されたと発表した。 　「ナノひっつき虫 」とは、天然由来のセルロースを原料にした同社オリジナルの水溶性樹脂で、半導体の製造工程で使用されるシリコン窒化膜に特異的に「ひっつく」物性をもち、エッチング液と呼ばれる強酸の水溶液からシリコン窒化膜を保護する性能を有志ている。 　 　エッチング工程の直前に、ノズル吐出やディッピングで塗布するだけで保護膜が形成でき、半導体製造工場で現在使われているエッチング液もそのまま使えるなどの特徴をもつ。 （参考文献） ▽題名：Selective functionalization of silicon nitride with a water-soluble etch-resistant polymer ▽著者：Kenji Mochida, Tsubasa Miki, Tadashi Teranishi ▽掲載誌：Microelectronic Engineering 　（ DOI：https://doi.org/10.1016/j.mee.2023.112001 ） 　 ニュースリリース https://www.chem-t.com/fax/images/tmp_file1_1684134462.pdf