2023年06月07日

ダイセルの吸着材料「半導体 イヤー賞 2023」受賞

【カテゴリー】：新製品/新技術 【関連企業・団体】：ダイセル

ダイセルが開発した、エッチング液からシリコン窒化膜を保護する保護材料「ナノひっつき虫」が、電子デバイス産業新聞主催の半導体・オブ・ザ・イヤー2023 半導体電子材料部門の「優秀賞」を受賞し、5 月 31 日に授賞式とプレゼンテーションが行われた。 　半導体・オブ・ザ・イヤーの表彰は今年で 29 回目。製品、技術の新規性、半導体業界に与えるインパクト、将来性などを基準に選定されている。 　「ナノひっつき虫 TM」は、天然由来のセルロースを原料にした当社オリジナルの水溶性樹脂を主成分とするシリコン窒化膜選択的な吸着材料で、半導体の製造工程で使用されるシリコン窒化膜に特異的に「ひっつき」、エッチング液と呼ばれる強酸の水溶液からシリコン窒化膜を保護する。一方でシリコン酸化膜には作用せず、エッチング加工の生産性に悪影響を与えない。今回、シリコン酸化膜とシリコン窒化膜のエッチング選択比を改善できる新しい手法であることなどが評価された。 　 ニュースリリース https://www.chem-t.com/fax/images/tmp_file1_1686116076.pdf