2023年07月04日

三井化学 EMS スタート、半導体向けペリクル

【カテゴリー】：行政/団体 【関連企業・団体】：三井化学

三井化学は4日、旭化成から事業承継したペリクルの製造販売会社、三井化学 EMS が7月1日付で営業開始したと発表した。ペリクルとは半導体や液晶パネルの露光工程で使用されるフォトマスクの保護膜のこと。 　 　三井化学 EMS は、旭化成からペリクル事業を引き継いで誕生した。現在、液晶パネルの露光工程で使用するFPD ペリクルの No.1 プレイヤー。半導体露光工程に使用する DUV ペリクルにおいても、先端領域で多く使われる液浸 ArF 向けを中心に、市場で高い評価を得ている。一方、三井化学は、DUV ペリクルの先端品市場における世界有数メーカーとして、市場評価を得てきた。 【新会社の概要】 ・会社名　： 三井化学 EMS 株式会社 ・所在　： 宮崎県延岡市 ・設立　： 2023 年 7 月 1 日 ・資本金： 1 億円 ・株主　： 三井化学 100％ ・社長　： 裾分 啓士 ・生産/研究開発拠点　： 延岡工場 ・事業内容　： LSI、FPD ペリクルの製造、開発及び販売 三井化学EMSが営業開始 https://www.chem-t.com/fax/images/tmp_file1_1688445623.pdf Mitsui Chemicals EMS Begins Doing Business https://www.chem-t.com/fax/images/tmp_file2_1688445623.pdf