2023年11月17日

住友電工、世界最高の高出力 密度窒化物開発

【カテゴリー】：新製品/新技術 【関連企業・団体】：住友電気工業

NEDOは17日、研究委託先の住友電気工業が「ポスト5G情報通信システム基盤強化研究開発事業」の一環として、新規結晶技術を用い従来比で2倍となる高出力密度を実現した窒化ガリウムトランジスタ（GaN HEMT）を開発したと発表した。 　開発したGaN HEMTは、新規結晶技術により、窒素（N）極性でGaN結晶の高品質化を実現し、さらにn+ GaNの採用やハフニウム（Hf）系のゲート絶縁膜の形成技術を組み合わせた。この結果、2A／mm超の最大電流と60V超の高耐圧を両立させ、N極性GaN HEMTとして世界最高値である、周波数28GHzでの最大出力密度12.8W／mmを達成した。 　本技術の開発成果は、ポスト5G情報通信システムの中核をなす、基地局向け増幅器へ実装されることで、小型化・高性能化に貢献する。 　 　NEDOと住友電工は今後、実用化のため、新規結晶やゲート絶縁膜の信頼性向上および広帯域増幅器の技術開発を継続事業の中で進めていく方針だ。 　　 ニュースリリース参照 https://www.nedo.go.jp/news/press/AA5_101701.html