2024年03月12日

東北大「ガラス越しレーザー照射でナノ加工実現」

【カテゴリー】：ファインケミカル 【関連企業・団体】：東北大学

レーザー光による穴あけ、切断などのレーザー加工技術は、自動車や半導体産業、医療器具などの製造過程で重要な役割を果たしている。近年は、小型部品や精密機器に対する加工精度や加工分解能の向上が強く求められており、これを達成するレーザー加工技術の開発が喫緊の課題となっている。 　東北大学 多元物質科学研究所の佐藤俊一教授らのグループは12日、ベクトルビームと呼ばれる特殊なレーザー光をガラスの裏面に集光する条件下で、ガラス界面での全反射の効果を使うことで界面近傍に極めて微小かつ高強度の集光点を形成できることを明らかにしたと発表した。 　このような条件でレーザー加工を行うと、使用した近赤外光の波長1040ナノメートルの1/16程度の直径67ナノメートルと非常に小さな加工穴が得られることを実証した。本結果は、集光したレーザー光を用いた材料の直接加工でのさらなる微細化・高精度化へ向けた新たな技術基盤となることが期待される。 同成果は光科学分野の専門誌「Optics Letters」（3月1日付）に掲載された。 ニュースリリース参照 https://www.tohoku.ac.jp/japanese/newimg/pressimg/tohokuuniv-press20240312_01web2_laser.pdf