2024年06月21日

大陽日酸、米社から半導体向けMOCVD装置初受注

【カテゴリー】：経営 【関連企業・団体】：大陽日酸

大陽日酸は20日、米国のLit Thinkingから半導体製造に必要なMOCVD装置を初受注したと発表した。 　Lit Thinking は、主に空気中の病原体による感染リスクを軽減するための紫外線UV-Cの利用に注力し、深紫外線ライトを使った除菌装置の開発・販売を手掛けている。 　今回受注した MOCVDは、 UVオプトエレクトロニクスのデバイスおよびパワーエレクトロニクスの開発促進に必須となる高品質なアルミニウムガリウムナイトライド（AlGaN）やアルミニウムナイトライド（AIN）の安定的な製造に用いられる。同装置の導入により製品の品質向上が期待できる。 ＜用語の解説＞ ◆MOCVD装置とは　：Metal Organic Chemical Vapor Depositionの略。原料に有機金属やガスを用いながら化合物半導体の成膜を行う装置。 ニュースリリース https://www.chem-t.com/fax/images/tmp_file1_1718942002.pdf