2024年09月03日

信越化学、GaN300㎜化に向けQST基板開発

【カテゴリー】：新製品/新技術 【関連企業・団体】：信越化学工業

信越化学工業は3日、GaN専用の成長基板であるQST基板の300㎜（12インチ）化を実現し、このほどサンプル供給を開始したと発表した。 　同社はこれまで、150㎜（6インチ）、200㎜（8インチ）のQST基板、および各口径のGaN on QSTエピタキシャル基板を販売してきたが、さらなる大口径化として300mm（12インチ）化に着手し、今回成功させた。 　GaNは、従来のSi生産ラインが使用可能なことから、大口径化による生産コスト低減が期待されていた。だが、GaN成長に適した基板がないことから、大口径化による反り等の課題により生産歩留まりが低く、そのメリットが生かされないという課題があった。今回の300㎜QST基板開発により、Si基板上では不可能であった反りやクラックのない厚膜の300㎜ GaNエピタキシャル成長が可能となり、デバイスコストの大幅削減が可能となる。同社は今後、これまでの150㎜、200㎜に続き、QST基板の300mm量産化にも取り組む。