2024年11月14日
レゾナック、AIを活用した材料探索ツール開発
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 レゾナックは14日、AI(人工知能)を活用し、材料の最適な組成を従来の5分の1の時間で探索できる独自技術を確立したと発表した。同社はさらに、同技術を用いて、半導体パッケージ用レジストの感光性樹脂の原料となるポリマー(重合体)の探索に成功し、材料探索の汎用ツールとして同技術の社内展開を開始した。今後、同技術の活用によって、半導体材料創出の加速を図る。

 近年、半導体パッケージの配線の微細化が進行し、配線を形成するために用いるレジストの感光性樹脂には高い解像度が求められている。感光性樹脂を構成する材料のうち、ポリマーが性能に与える影響は大きく、ポリマーには、高い現像性や、感度など複数の要素が求められる。
 
 ポリマーは、多数のモノマー(単量体)が結合したもので、これまで、多数のモノマー候補の中からモノマーの組成比・種類も含めた最適な配合を見つけることは、組み合わせが膨大なため困難だった。だが同社は、複数の目標特性値を設定し、AI モデルによりこの特性値を満たす最適なポリマー物性を計算した後、アニーリング技術を適用することで、短時間で最適なモノマーおよび、その組成比を求めることに成功した。

 例えばモノマー100種から5種選び、さらに組成比の合計が100%となるように各モノマーの組成比を1%ごとの刻みで計算する場合、従来法では概算で約 10 万年かかるが、アニーリング技術を使うと約10秒で計算することができる。

 ここで得たポリマーを用いた試作品は、良好な特性を示すことが実験で証明され、現在、添加剤等他の材料を含めた最適化に取り組んでいる段階だ。同技術を活用することで、配合から試作までに要した時間は、熟練者が行う場合の5分の1に短縮できた。同技術は、レジストポリマー設計に限らず樹脂設計や複合材料など幅広い分野に使用できる汎用的な技術のため、同社は、強みとする半導体後工程製品への活用も進めている。

ニュースリリース
https://www.chem-t.com/fax/images/tmp_file1_1731556714.pdf