2024年11月20日

住友化、省エネ大口径ウエハ6インチ量産化

【カテゴリー】：行政/団体 【関連企業・団体】：住友化学

住友化学は20日、新エネルギー・産業技術総合開発機構（ NEDO ）の24年度「脱炭素・省エネプログラム」で、「パワーエレクトロニクス用大口径GaN on GaNウエハの開発」に関する事業が採択されたと発表した。同社は、同プログラムを活用し、パワデバイス向け6インチGaN on GaN ウエハ量産技術の開発を加速する方針だ。 　NEDOの同プログラムは、2050年のカーボンニュートラル社会実現に向けて、大幅な省エネを実現しようというもので、GaN on GaNウエハはその一環となる。省エネ性や高耐圧・大電流動作の点で他半導体材料より優れ、電力インフラやデータセンターサーバー、電気自動車向け用途などパワーエレクトロニクス用半導体分野での活用が期待されている。 ■同プログラムで取り組む技術開発のポイント ▽GaN 基板技術：GaN 結晶の長尺化、種結晶の高品位化、3次元成長技術などによる収率向上や品質向上 ▽GaN 成長層（エピ）：住友化学独自技術である改良HVPE法による量産化 　 ニュースリリース https://www.chem-t.com/fax/images/tmp_file1_1732075153.pdf