1999年10月28日

昭和電工、新型PFC除害装置を上市

熱化学反応方式、99%以上の分解能力

【カテゴリー】：新製品/新技術 【関連企業・団体】：昭和電工

昭和電工は28日、エレクトロニクス産業などで使用されているフッ素系地球温暖化ガスを分解除去する除害装置(FPC廃ガス処理装置、商品名「クリーンエス・PF」を改良した新型除害装置を上市した、と発表した。 　半導体製造工程ではエッチングガス、洗浄用ガスとしてPFC、SF6など大量のフッ素系ガスが使われているが、同装置は化学反応剤による熱化学反応方式(廃ガス中のフッ素を金属フッ化物として反応剤に固定)により、従来製品に比べて低温領域でPFCを99%以上分解できる特徴をもっている。 　改良の主なポイントは、〓反応剤を改質し、処理温度を低下(650~900℃だったものを400~550℃に)させたことでエネルギーコストを削減〓反応剤をPFC・SF6用と,NF3用の2種類に専用化〓除害カラムユニット交換方式による、反応剤交換ハンドリングの簡便化〓プロセス生成物である酸性ガスも同時に固定処理でき、また後処理も不要、など。 　販売価格は標準型装置で1台約1,300万円、同社は初年度5,000万円、3年後4億円の売上げを見込んでいる。